| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
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| 1 | 污水站 | 《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）B级标准 | 本项目废水主要有生产工艺废水、喷淋塔排水、锅炉排污水、纯水制备浓水及员工生活污水，项目新建污水处理站处理工艺废水，污水站分为氨氮废水处理工段和酸性含氟废水处理工段，对项目产生的工艺废水进行分质收集、分质处理：清洗工序产生的含氨氮废水处理工艺为：“折点加氯”，处理规模为3m³/d；氨氮废水处理工段出水排至酸性含氟废水处理工段再处理； 酸性含氟废水处理工艺为：“中和+反应池+混凝池+絮凝池+二次除氟+沉淀池”，处理规模为60m³/d； 最终酸性含氟废水处理工段废水进入中和反应槽中和反应后排出与锅炉排污水、纯水制备排水及员工生活污水一起经园区污水管网排至济南综保区污水处理厂，后经刘公河最终汇入小清河 | 厂区废水总排口主要污染物pH值在8.1～8.3之间，化学需氧量最大日均值为31mg/L，氨氮最大日均值为4.06mg/L，总磷最大日均值为2.70mg/L，总氮最大日均值为8.90mg/L，五日生化需氧量最大日均值为12.07mg/L，悬浮物最大日均值为7mg/L，氟化物最大日均值为0.89mg/L，氯化物最大日均值为37mg/L，氯化物最大日均值为41mg/L，硫酸盐最大日均值为507mg/L，均符合《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中B级标准及济南市综合保税区污水处理厂进水水质要求，同时符合《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表 1 间接排放标准限值、《流域水污染物综合排放标准 第 3 部分：小清河流域》（DB37/3416.3-2018）重点保护区域限值要求与综保区污水处理厂接管要求（DB37/3416.3-2018）。 | 达标 |
| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
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| 1 | P1酸性废气对应的喷淋塔 | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值 | 清洗工序产生的氯化氢、HF，沉积工序尾气原位处理后废气、离子注入工序尾气原位处理后废气、压力敏感膜刻蚀尾气原位处理后废气（氨气、氯化氢、HF）、正面掩膜制作工序腐蚀、清洗废气（HF、氯化氢）、HF刻蚀尾气原位处理后废气（HF）经1#水喷淋处理后通过排气筒P1排放 | 酸性废气P1排气筒中主要污染物氨最大排放浓度为1.09mg/m3，最大排放速率为2.09×10-2kg/h，满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2要求（排放浓度无要求，排放速率限值8.7kg/h）；氯化氢排放浓度为未检出；硫酸雾排放浓度为未检出；氟化物最大排放浓度为1.86mg/m3，最大排放速率为3.66×10-2kg/h；满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值（氯化氢排放浓度限值为100mg/m3，最大排放速率限值为0.43kg/h；硫酸雾排放浓度限值为45mg/m3，最大排放速率限值为15kg/h；氟化物排放浓度限值为9mg/m3，最大排放速率限值为1.0kg/h）。 | 达标 |
| 2 | P2碱性废气对应的喷淋塔 | 《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2要求 | 建设喷淋塔 | 碱性废气P2排气筒中主要污染物氨最大排放浓度为1.02mg/m3，最大排放速率为1.58×10-3kg/h，满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2要求（排放浓度无要求，排放速率限值8.7kg/h）。 | 达标 |
| 3 | P3有机废气对应的二级活性炭吸附装置 | 《挥发性有机物排放标准第5部分：表面涂装行业》（DB37/2801.5-2018）表2排放限值要求 | 设置二级活性炭吸附装置 | 有机废气P3排气筒中主要污染物VOCs最大排放浓度为3.79mg/m3，最大排放速率为1.80×10-2kg/h均满足《挥发性有机物排放标准第5部分：表面涂装行业》（DB37/2801.5-2018）表2排放限值要求（50mg/m3、2.0kg/h） | 达标 |
| 4 | P4锅炉废气排气筒对应的低氮燃烧器 | 《锅炉大气污染物排放标准》（DB37/2374-2018）表2中重点控制区浓度限值要求 | 安装了低氮燃烧器 | 锅炉废气P4排气筒中主要污染物氮氧化物最大排放浓度为40mg/m3，颗粒物最大排放浓度为4.4mg/m3，二氧化硫低于检出限，烟气黑度小于1级，以上污染物排放浓度均满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB37/2374-2018）表2中重点控制区浓度限值要求（氮氧化物排放浓度限值为50mg/m3，颗粒物排放浓度限值为10mg/m3，氮氧化物排放浓度限值为50mg/m3，二氧化硫排放浓度限值为50mg/m3，烟气黑度限值为1级），氮氧化物同时满足《关于加快推进全市锅炉深度治理有关工作的补充通知》（济环字[2018]204号）相关要求（氮氧化物排放浓度限值为50mg/m3） | 达标 |
| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
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| 1 | 基础减震、车间隔声 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准要求 | 选用低噪声设备，设备基础减震、设备置于车间内隔声 | 厂界各点位昼间噪声监测结果在51.7～57.7dB（A）之间；夜间噪声在监测结果在48.2～49.4dB（A）之间，厂界噪声均达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准要求。 | 达标 |
| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 1 | 项目生活垃圾委托环卫部门清运。不合格品和废边角料综合利用。废超滤膜和废R0膜厂家回收。 建设危险废物贮存场所，清洗工序产生的清洗废液、废显影液、废腐蚀液、腐蚀后废清洗液、废正胶剥离液、废丙酮、废乙醇、废活性炭、废试剂瓶/桶、污水处理站污泥等危险废物委托有资质的单位处置。 | 项目生活垃圾委托环卫部门清运。不合格品和废边角料综合利用。废超滤膜和废R0膜厂家回收。 建设危险废物贮存场所，清洗工序产生的清洗废液、废显影液、废腐蚀液、腐蚀后废清洗液、废正胶剥离液、废丙酮、废乙醇、废活性炭、废试剂瓶/桶、污水处理站污泥等危险废物委托有资质的单位处置。 | 已落实 |
| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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