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杭钱塘工出【2022】9号6英寸半导体集成电路制造生产线项目

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项目基本信息
建设项目名称:
杭钱塘工出【2022】9号6英寸半导体集成电路制造生产线项目
项目类别:
C制造业 - C39计算机_通信和其他电子设备制造业 - C397电子器件制造 - C3973集成电路制造
项目地址:
东围路598号
项目总投资:
85000 万
项目环保投资:
4500 万
环评审批编号:
杭环钱环评批〔2023〕24号
排污许可编号:
91330114MA2KL93H64001U
批复日期:
2023-04-20
审批机构名称:
验收检测单位:
验收检测单位代码:
91330114MA2KL9Q2X3
验收开始日期:
2025-08-29
验收结束日期:
2025-09-25
报告编制机构:
报告编制机构代码:
91330103788257919L
验收意见名称:
20250926102826399_宝鼎乾芯环保验收专家意见.pdf 查看
验收报告:
20250926103426283_杭钱塘工出【2022】9号6英寸半导体集成电路制造生产线项目验收报告-终稿.pdf 查看
验收公开载体:
登陆后查看
调试开始日期:
2025-02-07
调试结束日期:
2025-08-06
竣工日期:
2025-02-06
营业单位代码:
91330114MA2KL93H64
行业类别年:
2021
行业类别代码:
080
行业名称:
电子器件制造
最终行业代码:
C3973
最终行业名称:
集成电路制造
环境保护设施落实情况

水污染治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 酸碱废水处理系统 含氟废水处理系统 研磨废水处理系统 高浓度氨氮处理系统 低浓度氨氮废水处理系统 有机废水处理系统 普通金属废水处理系统 含镍废水处理系统 含镍银废水处理系统 《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020) 按环评要求实施 各预处理系统单元对其主要处理目标污染物均有一定的处理效率,其中氟化物废水处理系统对氟化物的去除效率27.5%-32.1%,研磨废水处理系统对CODCr、悬浮物的去除效率分别是32.6%-55%、49.1%-41.4%,高浓度氨氮废水处理系统对氨氮、总氮的去除效率分别为90.5%-90.7%、90.6%-90.4%,高浓度氨氮废水处理系统对氨氮、总氮的去除效率分别为81.9%-84.2%、68.4%-75.7%,有机废水处理系统对CODCr的去除效率为78.6%-82.1%,普通金属废水处理系统对CODCr、总氮、总磷的去除效率分别为85.8%-88.3%、79.0%-80.6%、55.4%-63.6%,处理效率的高低取决于进口目标污染物的初始浓度的情况,含镍废水处理单元和含镍银废水处理单元出口的总镍、总银的浓度满足《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1中“车间或生产设施废水排放口”水污染物排放限值。 生产废水总排放口各污染物均可达《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1水污染物排放限值,其中氨氮可达《工业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)间接排放标准浓度限值要求 达标

大气污染治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 碱液喷淋洗涤塔(1#-3#喷淋塔,2用1备) 《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)、《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93) 按环评要求实施 酸性废气排放口的氮氧化物、氯化氢、氟化物、氯气、硫酸雾排放速率和排放浓度均满足《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)表2中的二级标准,氨、臭气浓度满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2标准限值 达标
2 酸液废气喷淋塔(1#-2#喷淋塔,1用1备) 《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93) 按环评要求实施 碱性废气排放口的氨、臭气浓度排放速率均满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2标准限值 达标
3 沸石转轮+TO(2套,1用1备) 《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)、《上海大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015) 按环评要求实施 有机废气排放口的非甲烷总烃排放浓度和排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)表2中的二级标准,丙酮的排放浓度和排放速率均满足《上海大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)中附录A标准限值;异丙醇排放浓度、排放速率满足《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3大气污染物排放限值,臭气浓度排放速率均满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2标准限值 达标
4 碱喷淋+次氯酸钠喷淋 《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)、《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93) 按环评要求实施 污水站恶臭废气排放口的氨、硫化氢、臭气浓度的排放速率均满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2标准限值 达标

噪声治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 隔声、减振,加强生产管理 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008) 按环评要求实施 监测期间企业四侧厂界昼、夜间噪声监测值均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类标准 达标

地下水污染治理设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

固废治理设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 般固废:废靶材、废材料、废蓝膜、废砂轮、废滤袋、RO膜等、废石英砂、废活性炭1(净水废活性炭)、废滤芯、废离子交换树脂、含氟污泥、生化污泥、一般废包装材料、废RO膜,外售物资回收公司或外运综合处置。 危险废物:废光阻及去光阻液、有机废液、废异丙醇、氟化铵废液、磷酸废液、含钴废液、含镍废液、含镍银废液、含镍钒废液、硫酸铵废液、含钴污泥、含镍污泥、含镍银污泥、含镍钒污泥、沾染危险物料的废包材、废活性炭2(废气处理废活性炭)、废芯片、废沸石、废机油及油桶、含油废抹布或手套、废灯管,委托有资质单位处置。 一般固废:废材料、废蓝膜、废砂轮、废滤袋、RO膜等、废石英砂、废活性炭1(净水废活性炭)、废滤芯、废离子交换树脂、废RO膜委托杭州新领泰业环保科技有限公司处置,废靶材外售回收利用,含氟污泥、生化污泥外运综合处置,一般废包装材料外售物资回收公司。 危险废物:废光阻及去光阻液、有机废液、废异丙醇、含镍废液、含镍银废液、含镍污泥、含镍银污泥、污水处理废树脂、污水处理废石英砂、沾染危险物料的废包材、废芯片、废沸石、废机油及油桶、含油废抹布或手套、废灯管委托浙江金泰莱环保科技有限公司处置。 氟化铵废液、磷酸废液、硫酸铵废液委托浙江威尔森新材料有限公司处置 已落实

生态保护设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

风险设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 1、加强废气日常监测,确保废气治理措施正常运行。若末端治理措施因故不能运行,生产必须停止。 2、运输过程中要做好密闭包装,确保不当或因意外而侧翻或破损,同时应尽量避开雨天转运。 3、危险废物应贮存独立的规范的危废贮存场所,做好防渗处理,设置围堰或者收集沟阻止泄漏蔓延。 4、生产过程中应强化管理,健全和完善各项规章制度,强化操作人员的业务培训。 5、厂内配备足够的风险应急处理物资,加强厂区风险应急监测的能力,配备相关的设备及人员。厂内应急预案根据实际生产变化情况进行修编,并根据环保应急预案要求定期演练。 6、应急池容积应不小于1372m3。 1、废气落实常规监测,确保废气治理措施正常运行。末端治理措施因故不能运行,生产必须停止。 2、运输过程中做好密闭包装,确保不当或因意外而侧翻或破损,尽量避开雨天转运。 3、按照规范建设危废仓库2间(占地分别25m2和35m2),危废仓库地面已进行地面和裙角的防渗处理,液态危废均采用防漏托盘用于泄漏液体的收集,可做到防雨、防渗、防漏。 4、企业设置有应急专业小组,建立环境风险管理制度,加强环境风险防控管理。 5、配有一定数量的应急物资,编制应急预案并完成备案(备案号330114-2025-063-M)。 6、动力站地下一层设置一个事故应急池(容积约1400m3)及一个室外应急池(容积约380m3)。 已落实

宝鼎乾芯集成电路(杭州)有限公司

行业:C3973集成电路制造
地区:浙江省 - 杭州市 - 钱塘新区

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