| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 厂区新建污水处理站 | 《江苏省地方标准 半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020） | 采用“除磷除铟混凝沉淀+水解酸化+接触氧化+深度混凝沉淀”处理工艺，设计处理能力 150m3/d | 4次/天，共2天 | 达标 |
| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 太阳能锗切磨工段废气处理设施FQ-1 | 《江苏省地方标准 半导体行业污染物排放标准》 DB32/3747-2020）；《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996） | 二级碱喷淋塔喷淋+除雾器+二级活性炭吸附装置 | 3次/天，共2天 | 达标 |
| 2 | 抛光腐蚀工序废气处理设施FQ-2 | 《江苏省地方标准 半导体行业污染物排放标准》 DB32/3747-2020） | 二级碱喷淋 | 3次/天，共2天 | 达标 |
| 3 | 清洗工序废气处理设施出口FQ-3 | 《江苏省地方标准 半导体行业污染物排放标准》 DB32/3747-2020） | 二级水喷淋 | 3次/天，共2天 | 达标 |
| 4 | 磷化铟酸洗工序废气处理设施出口FQ-06 | 《江苏省地方标准 半导体行业污染物排放标准》 DB32/3747-2020） | 二级碱喷淋 | 3次/天，共2天 | 达标 |
| 5 | 磷化铟抛洗工序废气处理设施出口FQ-07 | 《江苏省地方标准 半导体行业污染物排放标准》 DB32/3747-2020） | 二级酸喷淋 | 3次/天，共2天 | 达标 |
| 6 | 危废库废气处理设施出口FQ-08 | 《江苏省地方标准 半导体行业污染物排放标准》 DB32/3747-2020） | 二级活性炭吸附 | 3次/天，共2天 | 达标 |
| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
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| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 1 | 新建200m3事故池一座，加上原有的54m3事故池1座，共计254 m3。 | 将原三氯氢硅生产线污水池180m³改造为事故应急池，将54m3的事故应急池改造为75m³应急池，共计255m³. | 已落实 |
